Nồi nung thạch anh
Nồi nung thạch anh

Nồi nung thạch anh

Nồi nấu thạch anh là những vật chứa mờ hoặc trong suốt được làm từ cát thạch anh có độ tinh khiết cao bằng quy trình nấu chảy hồ quang điện ở nhiệt độ cao. Chúng là vật tư tiêu hao quan trọng trong quy trình nuôi cấy silicon đơn tinh thể bán dẫn. Nồi nấu thạch anh có độ tinh khiết cực cao, độ bền ở nhiệt độ cao tuyệt vời và độ ổn định nhiệt tốt. Chúng chủ yếu được sử dụng trong lò nuôi cấy đơn tinh thể Czochralski để chứa nguyên liệu silicon đa tinh thể, nấu chảy vật liệu silicon thành silicon nóng chảy ở nhiệt độ trên 1400 độ C, cung cấp môi trường nóng chảy sạch để kéo các thanh silicon đơn tinh thể. Nồi nấu thạch anh được chia thành hai loại chính: nồi nấu thạch anh tổng hợp và nồi nấu thạch anh tự nhiên. Nồi nấu thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao hơn và hàm lượng hydroxyl thấp hơn, làm cho chúng phù hợp với quy trình kéo silicon đơn tinh thể kích thước lớn. Nồi nấu thạch anh của công ty chúng tôi được sản xuất bằng cách sử dụng cát thạch anh có độ tinh khiết cao nhập khẩu làm nguyên liệu thô, thông qua thiết bị nấu chảy hồ quang điện tiên tiến và quy trình sản xuất sạch. Độ tinh khiết của sản phẩm có thể đạt trên 99,99%, và kích thước sản phẩm đáp ứng nhu cầu của các lò nung đơn tinh thể từ 8 inch đến 32 inch.

Chi tiết sản phẩm

a) Đặc điểm và ưu điểm của sản phẩm

Độ tinh khiết cực cao

Được chế tạo từ cát thạch anh có độ tinh khiết cao, các chén nung thạch anh của chúng tôi sử dụng vật liệu thạch anh tổng hợp với độ tinh khiết vượt quá 99,999%. Tổng hàm lượng các tạp chất kim loại quan trọng, bao gồm nhôm, sắt, canxi, natri và kali, được duy trì dưới 2 ppm.

Nhờ hàm lượng tạp chất cực thấp như vậy, nguy cơ nhiễm bẩn kim loại trong silicon nóng chảy được giảm thiểu đáng kể. Do đó, các thanh silicon đơn tinh thể được kéo ra từ quá trình nóng chảy đạt được thời gian sống của hạt tải điện thiểu số được cải thiện và hàm lượng oxy giảm, đáp ứng các tiêu chuẩn chất lượng nghiêm ngặt được yêu cầu trong sản xuất chip cao cấp.

Độ ổn định nhiệt tuyệt vời

Nồi nung thạch anh có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, xấp xỉ 5,5 x 10^-7 Kelvin, và độ ổn định sốc nhiệt tuyệt vời. Nó có thể chịu được quá trình nung nóng và làm nguội nhanh từ nhiệt độ phòng đến hơn 1400 độ C mà không bị nứt hoặc biến dạng. Trong quá trình kéo tinh thể đơn, nồi nung cần chịu được sự ăn mòn của silicon nóng chảy ở nhiệt độ cao và các cú sốc chu kỳ nhiệt trong thời gian dài. Nồi nung thạch anh của chúng tôi, thông qua các quy trình nung chảy được tối ưu hóa và xử lý nhiệt chính xác, đảm bảo hiệu suất ổn định trong điều kiện khắc nghiệt.

lớp bề mặt bên trong có độ tinh khiết cao

Để đáp ứng các yêu cầu khắt khe về độ tinh khiết cao trong quá trình kéo silicon đơn tinh thể kích thước lớn, công ty chúng tôi cung cấp các nồi nấu silicon cấu trúc composite với lớp bên trong là cát tổng hợp và lớp bên ngoài là cát tự nhiên. Bề mặt bên trong, tiếp xúc trực tiếp với silicon nóng chảy, sử dụng một lớp cát thạch anh tổng hợp, có độ tinh khiết cực cao và hàm lượng hydroxyl cực thấp (dưới 100 phần triệu), giúp ngăn chặn hiệu quả sự hình thành bọt khí và giải phóng oxy trong silicon nóng chảy. Lớp bên ngoài sử dụng cát thạch anh tự nhiên để tăng cường độ bền cấu trúc, đảm bảo cả độ tinh khiết của bề mặt bên trong và hiệu quả chi phí.

Độ chính xác kích thước cao

Công ty chúng tôi được trang bị thiết bị tạo hình và kiểm tra nồi nấu thạch anh tiên tiến, kiểm soát độ chính xác kích thước của nồi nấu trong phạm vi ±1 mm để đảm bảo sự phù hợp tuyệt vời với hệ thống nhiệt của lò tinh thể đơn. Các chỉ số kích thước quan trọng như độ đồng đều độ dày thành nồi, độ tròn và độ vuông góc được kiểm tra nghiêm ngặt để tránh các vấn đề như khó khăn khi nạp liệu vào lò hoặc phân bố nhiệt không đều do sai lệch kích thước gây ra.

Khả năng kiểm soát lớp bọt khí tuyệt vời

Trong quá trình sử dụng, lớp bong bóng bên ngoài của nồi nung thạch anh đóng vai trò cách nhiệt và giảm thiểu ứng suất nhiệt. Công ty chúng tôi đã kiểm soát hiệu quả độ đồng đều và độ dày của lớp bong bóng bằng cách tối ưu hóa các thông số quy trình nung chảy, dẫn đến độ đồng đều nhiệt tốt hơn và tuổi thọ cao hơn cho nồi nung trong điều kiện nhiệt độ cao.

Độ ổn định lô hàng cao

Mỗi lô nồi nung thạch anh đều trải qua quá trình kiểm tra kích thước và hình thức nghiêm ngặt. Các chỉ số chất lượng quan trọng như kích thước, độ dày thành, tình trạng lớp bọt khí và hàm lượng tạp chất được ghi chép tỉ mỉ và có thể truy xuất nguồn gốc. Khách hàng có thể yên tâm mua và sử dụng số lượng lớn, tránh được sự không ổn định trong quá trình kéo tinh thể do chất lượng nồi nung biến động.

Nguồn cung ổn định và đáng tin cậy

Nhờ tận dụng các mối quan hệ đối tác chiến lược với các nhà cung cấp cát thạch anh chất lượng cao trong và ngoài nước, công ty chúng tôi sở hữu các kênh cung ứng nguyên liệu ổn định và năng lực sản xuất quy mô lớn, cho phép chúng tôi đáp ứng nhu cầu đa dạng về thông số kỹ thuật và khối lượng mua hàng lớn của khách hàng. Chúng tôi cũng đã thiết lập một hệ thống quản lý kho và hậu cần toàn diện, đảm bảo giao hàng đúng thời hạn và giúp khách hàng tránh được rủi ro gián đoạn sản xuất.

 

b) Thông số sản phẩm

Tên sản phẩm là Nồi nấu thạch anh, được sản xuất bằng phương pháp nấu chảy hồ quang điện. Sản phẩm có màu trong mờ hoặc trong suốt, trắng sữa hoặc không màu. Sản phẩm được làm từ thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao, với cát thạch anh tổng hợp đạt độ tinh khiết trên 99,999% và cát thạch anh tự nhiên đạt độ tinh khiết không dưới 99,99%. Về tạp chất, tổng hàm lượng các tạp chất kim loại quan trọng như nhôm, sắt, canxi, natri và kali được kiểm soát dưới 2 phần triệu. Hàm lượng hydroxyl có thể được kiểm soát từ 50 đến 150 phần triệu theo yêu cầu của khách hàng, với lớp cát thạch anh tổng hợp có hàm lượng hydroxyl dưới 100 phần triệu. Nhiệt độ hóa mềm không dưới 1650 độ C, và nhiệt độ hoạt động tối đa có thể đạt trên 1400 độ C. Hệ số giãn nở nhiệt xấp xỉ 5,5 x 10^-7 Kelvin. Kích thước sản phẩm dao động từ 200 mm đến 800 mm đường kính ngoài, tương ứng với yêu cầu của lò nung tinh thể đơn từ 8 inch đến 32 inch. Độ chính xác về kích thước được kiểm soát trong phạm vi ±1 mm. Độ dày thành nồi nung dao động từ 3 mm đến 15 mm và có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu quy trình của khách hàng. Hình dạng đáy có thể là tròn hoặc phẳng. Về cấu trúc composite, có sẵn cấu trúc composite hai lớp với lớp trong bằng cát tổng hợp và lớp ngoài bằng cát tự nhiên, trong đó lớp trong thường chiếm từ 20% đến 40% tổng độ dày. Mỗi nồi nung đều đi kèm với báo cáo kiểm tra, bao gồm dữ liệu kích thước và hồ sơ kiểm tra trực quan.

 

Các lĩnh vực/tình huống ứng dụng

  1. Kéo silicon đơn tinh thể bán dẫn: Nồi nấu thạch anh là một thành phần tiêu hao thiết yếu trong phương pháp Czochralski để nuôi cấy silicon đơn tinh thể trong chất bán dẫn. Chúng được sử dụng để chứa nguyên liệu silicon đa tinh thể và nung chảy chúng thành silicon nóng chảy ở nhiệt độ cao. Trong lò nung đơn tinh thể, nồi nấu thạch anh được đặt bên trong nồi nấu than chì, tiếp xúc trực tiếp với silicon nóng chảy. Nồi nấu thạch anh là không thể thiếu để kéo các thanh silicon đơn tinh thể có chiều dài từ tám inch đến mười hai inch và thậm chí lớn hơn. Sản phẩm của chúng tôi có thể đáp ứng nhu cầu về nồi nấu để kéo các thanh đơn tinh thể có chiều dài từ sáu inch đến mười tám inch.
  2. Kéo silicon đơn tinh thể cho quang điện: Trong ngành công nghiệp quang điện, nồi nấu thạch anh cũng được sử dụng để kéo các thanh silicon đơn tinh thể theo phương pháp Czochralski nhằm sản xuất các tấm silicon đơn tinh thể cần thiết cho các tế bào quang điện. Nồi nấu thạch anh dùng cho quang điện có yêu cầu độ tinh khiết thấp hơn một chút so với nồi nấu dùng cho bán dẫn, nhưng yêu cầu về chi phí và hiệu quả sản xuất cao hơn. Công ty chúng tôi có thể cung cấp các giải pháp sản phẩm với các mức độ tinh khiết và phạm vi giá khác nhau tùy theo nhu cầu của khách hàng.
  3. Nghiên cứu và phát triển tấm wafer silicon kích thước lớn: Khi ngành công nghiệp bán dẫn phát triển theo hướng sử dụng các tấm wafer silicon kích thước lớn hơn, các yêu cầu về kích thước, độ tinh khiết và tuổi thọ của nồi nấu thạch anh cũng ngày càng cao. Nồi nấu thạch anh kích thước lớn của chúng tôi với lớp bên trong cấu trúc composite cát tổng hợp có thể đáp ứng các yêu cầu đặc biệt về độ tinh khiết cao và hàm lượng oxy thấp trong quá trình kéo silicon đơn tinh thể kích thước 12 inch trở lên.
  4. Nấu chảy vật liệu đặc biệt: Nhờ khả năng chịu nhiệt cao và độ ổn định hóa học tuyệt vời, nồi nấu bằng thạch anh cũng có thể được sử dụng trong các quá trình nấu chảy và tinh chế các vật liệu có độ tinh khiết cao khác, chẳng hạn như nấu chảy một số vật liệu quang học và thủy tinh đặc biệt.

 

 Câu hỏi thường gặp

Hỏi: Nồi nung thạch anh tổng hợp và nồi nung thạch anh tự nhiên có gì khác biệt? Khách hàng nên lựa chọn như thế nào?

A: Nồi nung thạch anh tổng hợp được làm từ cát thạch anh tổng hợp hóa học. Chúng có độ tinh khiết trên 99,999%, hàm lượng hydroxyl dưới 100 ppm và phân bố lớp bọt khí đồng đều. Mặt khác, nồi nung thạch anh tự nhiên sử dụng cát thạch anh tự nhiên làm nguyên liệu thô, với độ tinh khiết khoảng 99,99% và hàm lượng hydroxyl trong khoảng từ 100 đến 200 ppm.

 

Hỏi: Tuổi thọ của chén nung thạch anh là bao lâu?

A: Nồi nung thạch anh là vật tư tiêu hao dùng một lần, thường cần được thay thế sau một hoặc hai lần kéo tinh thể silicon đơn tinh thể. Tuổi thọ cụ thể bị ảnh hưởng bởi nhiều yếu tố, bao gồm kích thước của silicon đơn tinh thể được kéo, các thông số của quá trình kéo tinh thể, độ dày thành nồi nung và chất lượng của nó. Trong một quy trình kéo tinh thể silicon đơn tinh thể tiêu chuẩn, một nồi nung thạch anh thường có thể hoàn thành một quy trình kéo tinh thể đầy đủ, và trong một số điều kiện quy trình nhất định, nó có thể được tái sử dụng một lần. Trong quá trình sử dụng, bề mặt bên trong của nồi nung sẽ dần dần kết tinh và tạo ra một lớp bọt khí dày lên, cuối cùng có thể dẫn đến nứt hoặc nhiễm bẩn silicon nóng chảy.

 

Hỏi: Cần xử lý vật liệu gì trước khi sử dụng chén nung thạch anh?

A: Trước khi đưa chén nung thạch anh vào sử dụng, cần tiến hành kiểm tra bằng mắt thường để xác nhận không có vết nứt, bọt khí tập trung bất thường hoặc nhiễm bẩn bề mặt. Trước khi cho vào lò nung tinh thể đơn, chén nung thường cần được làm sạch – việc này có thể được thực hiện bằng cách thổi khí nitơ tinh khiết cao vào bề mặt bên trong hoặc lau bằng cồn tinh khiết cao. Trong quá trình lắp đặt, phải đeo găng tay sạch để tránh tiếp xúc trực tiếp với bề mặt bên trong của chén nung. Sau khi chén nung được cho vào lò, nó cũng cần được nung ở nhiệt độ cao để loại bỏ hơi ẩm và tạp chất bám trên bề mặt.

 

Hỏi: Làm thế nào để đánh giá chất lượng của một chén nung thạch anh?

A: Cần đánh giá nhiều thông số cốt lõi để xác định chất lượng nồi nung thạch anh.

Độ tinh khiết. Mức độ tạp chất thấp được ưu tiên, đặc biệt là các tạp chất kim loại bao gồm nhôm, sắt, canxi, natri và kali.

Hàm lượng hydroxyl. Giá trị hydroxyl thấp là cần thiết cho các quy trình kéo silicon đơn tinh thể đường kính lớn.

Lớp bọt khí. Bọt khí cần được phân bố đều, tránh tạo thành các cụm bọt khí lớn tập trung.

Độ chính xác về kích thước. Đường kính ngoài và độ dày thành phải tuân thủ các tiêu chuẩn quy định.

Tình trạng bề mặt. Không được phép có vết nứt, vết bẩn, vết trầy xước hoặc các khuyết điểm nhìn thấy được khác.

Giấy chứng nhận kiểm định được cung cấp kèm theo mỗi lô sản phẩm, cho phép khách hàng tự tiến hành kiểm định chất lượng độc lập.

 

Hỏi: Công ty có hỗ trợ tùy chỉnh nồi nung thạch anh không?

A: Có, chúng tôi hỗ trợ sản xuất chén nung thạch anh theo yêu cầu. Khách hàng có thể cung cấp kích thước cần thiết (đường kính ngoài, chiều cao, độ dày thành), hình dạng đáy (đáy tròn hoặc đáy phẳng), độ tinh khiết (hoàn toàn tổng hợp, cấu trúc hỗn hợp hoặc hoàn toàn tự nhiên) và các yêu cầu ghi nhãn cụ thể. Sản phẩm tùy chỉnh cần được trao đổi trước với đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi để xác nhận giải pháp kỹ thuật và ngày giao hàng.

 

Hỏi: Có thể tái chế chén nung thạch anh đã qua sử dụng không?

A: Các chén nung thạch anh khi sử dụng ở nhiệt độ cao sẽ bị kết tinh bề mặt và có khả năng bị nhiễm bẩn. Đối với các ứng dụng bán dẫn, những chén nung đã qua sử dụng này thường không phù hợp để tái chế trực tiếp.

Trong lĩnh vực quang điện, một số khách hàng lựa chọn tái chế nồi nấu kim loại đã qua sử dụng bằng cách nghiền chúng thành vật liệu dạng vụn để sử dụng trong các ứng dụng cấp thấp hơn.

Chúng tôi cung cấp các giải pháp tái chế tùy chỉnh cho khách hàng có nhu cầu. Để biết thêm chi tiết, vui lòng liên hệ trực tiếp với đội ngũ bán hàng của chúng tôi.

Tin tức & Thông báo

Bài viết gần đây

Dịch vụ của chúng tôi

Dịch vụ kiểm tra chất lượng

Dịch vụ kiểm tra chất lượng

Chúng tôi sở hữu bộ thiết bị kiểm tra vật liệu bán dẫn hoàn chỉnh, cung cấp dịch vụ kiểm tra toàn diện về độ tinh khiết, điện trở suất, kích thước, khuyết tật bề mặt, v.v., và cấp báo cáo kiểm tra chuyên nghiệp.
Khám phá thêm
Dịch vụ quản lý chuỗi cung ứng

Dịch vụ quản lý chuỗi cung ứng

Cung cấp cho khách hàng giải pháp chuỗi cung ứng vật liệu bán dẫn trọn gói, bao gồm thu mua tập trung, quản lý tồn kho, giao hàng đúng thời điểm (JIT), hỗ trợ hậu cần, v.v.
Khám phá thêm
lý lịch

Hãy hợp tác với chúng tôi để có được các giải pháp bán dẫn đáng tin cậy.

Dù bạn cần vật liệu bán dẫn tiêu chuẩn hay các thông số kỹ thuật tùy chỉnh, đội ngũ kỹ sư chuyên gia của chúng tôi luôn sẵn sàng hỗ trợ. Hãy gửi yêu cầu của bạn ngay bây giờ và nhận báo giá chi tiết, chuyên nghiệp trong vòng 24 giờ.

Yêu cầu báo giá

    Trang chủ
    WhatsApp
    E-mail
    Liên hệ với chúng tôi