Vật tư tiêu hao cho quy trình sản xuất bán dẫn

Nồi nấu thạch anh là những vật chứa mờ hoặc trong suốt được làm từ cát thạch anh có độ tinh khiết cao bằng quy trình nấu chảy hồ quang điện ở nhiệt độ cao. Chúng là vật tư tiêu hao quan trọng trong quy trình nuôi cấy silicon đơn tinh thể bán dẫn. Nồi nấu thạch anh có độ tinh khiết cực cao, độ bền ở nhiệt độ cao tuyệt vời và độ ổn định nhiệt tốt. Chúng chủ yếu được sử dụng trong lò nuôi cấy đơn tinh thể Czochralski để chứa nguyên liệu silicon đa tinh thể, nấu chảy vật liệu silicon thành silicon nóng chảy ở nhiệt độ trên 1400 độ C, cung cấp môi trường nóng chảy sạch để kéo các thanh silicon đơn tinh thể. Nồi nấu thạch anh được chia thành hai loại chính: nồi nấu thạch anh tổng hợp và nồi nấu thạch anh tự nhiên. Nồi nấu thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao hơn và hàm lượng hydroxyl thấp hơn, làm cho chúng phù hợp với quy trình kéo silicon đơn tinh thể kích thước lớn. Nồi nấu thạch anh của công ty chúng tôi được sản xuất bằng cách sử dụng cát thạch anh có độ tinh khiết cao nhập khẩu làm nguyên liệu thô, thông qua thiết bị nấu chảy hồ quang điện tiên tiến và quy trình sản xuất sạch. Độ tinh khiết của sản phẩm có thể đạt trên 99,99%, và kích thước sản phẩm đáp ứng nhu cầu của các lò nung đơn tinh thể từ 8 inch đến 32 inch.

Các chi tiết bằng than chì tinh khiết cao là thành phần cốt lõi trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, được chế tạo từ than chì tinh khiết cao làm vật liệu cơ bản thông qua gia công chính xác. Than chì tinh khiết cao là vật liệu than chì có hàm lượng carbon ≥99,99%, sở hữu các ưu điểm như độ bền cao, mật độ cao, khả năng chịu nhiệt độ cao, khả năng chống oxy hóa, khả năng dẫn điện và dẫn nhiệt tuyệt vời, khả năng chịu sốc nhiệt tốt, tự bôi trơn, chống ăn mòn và dễ gia công chính xác. Trong ngành công nghiệp bán dẫn, các chi tiết bằng than chì tinh khiết cao chủ yếu được sử dụng trong các giai đoạn xử lý quan trọng như hệ thống nhiệt của lò nung đơn tinh thể, thiết bị epitaxy, máy cấy ion và thiết bị khắc. Các dạng sản phẩm cụ thể bao gồm nồi nấu than chì, bộ gia nhiệt than chì, điện cực than chì, thuyền than chì, giá đỡ than chì, tấm chắn than chì, vòi phun than chì và lớp lót than chì.