Piezas de grafito
Las piezas de grafito de alta pureza son componentes esenciales en los procesos de fabricación de semiconductores, elaboradas a partir de grafito de alta pureza como material base mediante mecanizado de precisión. El grafito de alta pureza se refiere a materiales de grafito con un contenido de carbono ≥99,99%, que poseen ventajas como alta resistencia, alta densidad, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la oxidación, excelente conductividad eléctrica y térmica, buena resistencia al choque térmico, autolubricación, resistencia a la corrosión y facilidad de mecanizado de precisión. En la industria de semiconductores, las piezas de grafito de alta pureza se utilizan principalmente en etapas clave del proceso, como sistemas térmicos de hornos de crecimiento de monocristales, equipos epitaxiales, implantadores de iones y equipos de grabado. Los productos específicos incluyen crisoles de grafito, calentadores de grafito, electrodos de grafito, barquillas de grafito, susceptores de grafito, pantallas de grafito, boquillas de grafito y revestimientos de grafito.
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