consommables pour procédés de fabrication de semi-conducteurs

Les creusets en quartz sont des récipients translucides ou transparents fabriqués à partir de sable de quartz de haute pureté par fusion à l'arc électrique à haute température. Ils constituent des consommables essentiels au procédé de croissance du silicium monocristallin. Les creusets en quartz présentent une pureté extrêmement élevée, une excellente résistance aux hautes températures et une bonne stabilité thermique. Ils sont principalement utilisés dans les fours de croissance monocristalline Czochralski pour contenir les matières premières de silicium polycristallin. La fusion du silicium à des températures supérieures à 1400 °C permet d'obtenir un bain de silicium propre, propice à l'étirage de barres de silicium monocristallin. On distingue deux grandes catégories de creusets en quartz : les creusets en quartz synthétique et les creusets en quartz naturel. Les creusets en quartz synthétique, plus purs et à plus faible teneur en groupes hydroxyle, sont particulièrement adaptés à l'étirage de monocristaux de silicium de grande taille. Nos creusets en quartz sont fabriqués à partir de sable de quartz importé de haute pureté, grâce à des équipements de fusion à l'arc électrique de pointe et des procédés de production rigoureux. La pureté du produit peut atteindre plus de 99,99 %, et la gamme de tailles couvre les besoins des fours monocristallins de 8 à 32 pouces.

Les pièces en graphite de haute pureté sont des composants essentiels des procédés de fabrication des semi-conducteurs. Fabriquées à partir de graphite de haute pureté comme matériau de base, elles sont usinées avec précision. Le graphite de haute pureté désigne un matériau graphitique dont la teneur en carbone est supérieure ou égale à 99,99 %. Il présente de nombreux avantages, tels qu'une résistance mécanique et une densité élevées, une excellente résistance aux hautes températures et à l'oxydation, une conductivité électrique et thermique remarquable, une bonne résistance aux chocs thermiques, des propriétés autolubrifiantes, une résistance à la corrosion et une facilité d'usinage de précision. Dans l'industrie des semi-conducteurs, les pièces en graphite de haute pureté sont principalement utilisées dans des étapes clés des procédés, comme les systèmes thermiques des fours de croissance de monocristaux, les équipements d'épitaxie, les implanteurs ioniques et les équipements de gravure. Parmi les produits spécifiques, on trouve les creusets, les éléments chauffants, les électrodes, les nacelles, les suscepteurs, les écrans, les buses et les revêtements en graphite.