Расходные материалы для полупроводниковых процессов

Кварцевые тигли — это полупрозрачные или прозрачные емкости, изготовленные из высокочистого кварцевого песка методом высокотемпературной электродуговой плавки. Они являются ключевым расходным материалом в процессе выращивания монокристаллического кремния для полупроводниковых целей. Кварцевые тигли обладают чрезвычайно высокой чистотой, превосходной прочностью при высоких температурах и хорошей термической стабильностью. В основном они используются в печах Чохральского для выращивания монокристаллов в качестве сырья для поликристаллического кремния, плавя кремниевый материал при температурах выше 1400 градусов Цельсия, обеспечивая чистую среду для вытягивания монокристаллических кремниевых стержней. Кварцевые тигли делятся на две основные категории: синтетические кварцевые тигли и тигли из природного кварца. Синтетические кварцевые тигли обладают более высокой чистотой и более низким содержанием гидроксильных групп, что делает их пригодными для процесса вытягивания крупногабаритных монокристаллических кремниевых стержней. Кварцевые тигли нашей компании изготавливаются из импортного высокочистого кварцевого песка в качестве сырья с использованием современного электродугового плавильного оборудования и экологически чистых производственных процессов. Чистота продукта может достигать более 99,99%, а диапазон размеров охватывает потребности монокристаллических печей размером от 8 до 32 дюймов.

Детали из высокочистого графита являются ключевыми компонентами в процессах производства полупроводников, изготавливаясь из высокочистого графита в качестве основного материала путем прецизионной обработки. Высокочистый графит — это графитовый материал с содержанием углерода ≥99,99%, обладающий такими преимуществами, как высокая прочность, высокая плотность, высокая термостойкость, стойкость к окислению, отличная электро- и теплопроводность, хорошая термостойкость, самосмазывание, коррозионная стойкость и легкость прецизионной обработки. В полупроводниковой промышленности детали из высокочистого графита в основном используются на ключевых этапах процесса, таких как тепловые системы печей для выращивания монокристаллов, эпитаксиальное оборудование, ионные имплантаторы и травильное оборудование. Конкретные формы изделий включают графитовые тигли, графитовые нагреватели, графитовые электроды, графитовые лодочки, графитовые сусцепторы, графитовые экраны, графитовые сопла и графитовые футеровки.