반도체 공정 소모품

석영 도가니는 고온 전기 아크 용융 공정을 이용하여 고순도 석영 모래로 만든 반투명 또는 투명한 용기입니다. 이는 반도체 단결정 실리콘 성장 공정에서 핵심적인 소모품입니다. 석영 도가니는 매우 높은 순도, 우수한 고온 강도 및 열 안정성을 가지고 있습니다. 주로 초크랄스키 단결정 성장로에서 다결정 실리콘 원료를 담는 데 사용되며, 1400℃ 이상의 고온에서 실리콘 원료를 용융시켜 단결정 실리콘 봉을 뽑아내는 데 필요한 깨끗한 용융 환경을 제공합니다. 석영 도가니는 크게 합성 석영 도가니와 천연 석영 도가니로 나뉩니다. 합성 석영 도가니는 순도가 높고 수산화물 함량이 낮아 대형 단결정 실리콘을 뽑아내는 공정에 적합합니다. 당사의 석영 도가니는 수입 고순도 석영 모래를 원료로 사용하여 첨단 전기 아크 용융 설비와 청정 생산 공정을 통해 제조됩니다. 제품 순도는 99.99% 이상에 달하며, 크기 범위는 8인치에서 32인치까지의 단결정로의 요구 사항을 충족합니다.

고순도 흑연 부품은 고순도 흑연을 기본 소재로 정밀 가공하여 제작되는 반도체 제조 공정의 핵심 부품입니다. 고순도 흑연은 탄소 함량이 99.99% 이상인 흑연 소재로, 고강도, 고밀도, 내열성, 내산화성, 우수한 전기 및 열 전도성, 내열충격성, 자가 윤활성, 내식성, 정밀 가공 용이성 등의 장점을 가지고 있습니다. 반도체 산업에서 고순도 흑연 부품은 주로 단결정 성장로 열 시스템, 에피택셜 장비, 이온 주입기, 에칭 장비 등의 주요 공정 단계에 사용됩니다. 구체적인 제품 형태로는 흑연 도가니, 흑연 히터, 흑연 전극, 흑연 보트, 흑연 서셉터, 흑연 차폐판, 흑연 노즐, 흑연 라이너 등이 있습니다.