ماذا يخبرك مؤشر TTV للرقاقة قبل تجربة العملية؟

عند استلام البضائع، كُتب على الملصق "TTV < 3 ميكرومتر". وضع أحدهم التقرير بجانب تقرير الشهر الماضي. يُشير التقرير القديم أيضًا إلى 3 ميكرومتر. لا يحتوي أي منهما على خريطة نقاط. نفس الختم. نفس الحد. تبدو الأرقام متقاربة حتى يسأل أحدهم عن كيفية أخذ كل مختبر للعينات.

يُعرَّف تباين سُمك الرقاقة الكلي (TTV) بأنه الفرق بين أسمك وأرق نقطة تم قياسها وفقًا لطريقة محددة. وهو يُشير إلى مدى تفاوت السُمك، ولكنه لا يُشير إلى انحناء الرقاقة، ولا يُشير أيضًا إلى التواءها أو خشونة سطحها. ولا يُمكن الاعتماد على هذا الرقم وحده لتأكيد ملاءمة عملية التصنيع.

ماذا يقيس معدل انتقال الرقاقة عبر القرص؟

يمثل TTV نطاقًا. خذ أعلى قراءة للسمك في منطقة القياس المحددة واطرح منها أدنى قراءة. والنتيجة هي إجمالي تباين السمك لتلك النقاط المقاسة.

لنأخذ نقطتين على خريطة نموذجية. عند إحدى النقطتين، يُشير المقياس إلى 725.4 ميكرومتر. وعند الأخرى، يُشير إلى 723.0 ميكرومتر. بطرح القيمة الثانية من الأولى، نحصل على قيمة TTV للخريطة، وهي 2.4 ميكرومتر. اخترتُ هذه القيم لتوضيح العملية الحسابية، وهي ليست قراءات الإنتاج.

تُعدّ الخريطة مهمة. قد تتشابه شريحتان في قيمة TTV، بينما تقع أعلى وأدنى النقاط في أماكن مختلفة. قد يُركّز أحد التقارير على المركز والحافة، بينما قد يستخدم تقرير آخر نمطًا أكثر كثافة. تُخفي القيمة الرئيسية هذا الاختلاف.

عندما يُقدّم لك أحدهم مواصفات "بحد أقصى 3 ميكرومتر"، اسأل عن المساحة التي تم قياسها وكيف تم اختيار النقاط. بدون هذا السياق، يصعب مقارنة الرقم بتقرير الشهر الماضي.

كيف يختلف معامل انتقال الحرارة عبر الرقاقة عن معامل الانحناء والالتواء؟

يُعدّ مصطلح TTV مختلفًا لأنه يصف نطاقًا للسمك. أما مصطلحا "التقوّس" و"الالتواء" فيتعلقان بشكل الرقاقة. أما "الخشونة" فهي تعني ملمس السطح.

يقيس انحناء الرقاقة مدى بُعد مركزها عن مستوى مرجعي. أما انحناء الرقاقة فيغطي مساحة أكبر من سطحها ليصف شكلها خارج المستوى. فهما متقاربان، لكنهما يظلان قراءتين منفصلتين.

من أجلنا مجموعة رقائق السيليكونيتم التحكم في تباين حجم النسيج الكلي (TTV) بحيث لا يتجاوز 3 ميكرومتر. ويبقى انحناء النسيج أقل من 20 ميكرومتر. ويبقى انحناء السدى أقل من 25 ميكرومتر. لا أنصح بدمج هذه المعايير في معيار واحد يُسمى "التسطيح". فهي تشير إلى قياسات مختلفة، ولا يمكن اعتبار أي منها حدًا مقبولًا لجميع العمليات.

يمكن أن تصل قيمة خشونة سطحنا إلى 0.1 نانومتر. عند تحويل 3 ميكرومتر إلى 3000 نانومتر، يصبح الفرق في المقياس أقل تجريدًا. مع ذلك، تظل هذه خصائص منفصلة. قد يكون السطح المصقول أملسًا بينما يتغير سمكه من المركز إلى الحافة. ​​في حالة وجود خدش أو جسيم، يُرجى الاستفسار. فحص خشونة السطح والعيوبلن يظهر ذلك على رقم TTV.

متى يكون لفرق التباين الزمني (TTV) لرقاقة السيليكون أهمية في أداة المعالجة؟

يُعدّ تحليل التباين الزمني للسمك (TTV) أسهل للقراءة بمفرده. يصبح الأمر أكثر تعقيدًا عندما تلامس الرقاقة ظرف التثبيت أو الحافة التي تثبتها على سطح مستوٍ. تُغيّر حالة الدعم طبيعة المسألة. يمكن للانحناء والالتواء تفسير سلوك لا يُمكن لنطاق السُمك تفسيره.

تخيل رقاقة سيليكون تُسحب على ظرف تثبيت فراغي. يمثل التفاوت الزمني الكلي (TTV) جزءًا واحدًا فقط من هذا التلامس. قد يظهر رقم نظيف بجانب رقاقة سيليكون منحنية؛ فهما يصفان حالتين مختلفتين. كما أن تصميم الأداة ونطاق تصحيحها مهمان أيضًا.

يُعدّ التحكم في التركيز والارتفاع سببًا إضافيًا لفصل المصطلحين. يمكن أن يساعد رقم TTV في فحص هندسة الرقاقة الواردة. وهو ليس خريطة تركيز، ولا يُمكنه إخبار الفريق بمقدار التصحيح المتبقي خلال خطوة معينة.

تُثير عمليات الربط والطحن الدقيق مخاوفها الخاصة. قد يهتم الفريق بسُمك الطبقة أو عبر مسار التشغيل. يبدو قياس ثلاثة ميكرومترات مناسبًا في ورقة المواصفات، ولكن هل هو الحد الأمثل؟ ليس قبل تحديد المرحلة التي يجب حمايتها.

ابدأ من النقطة التي تريد تصحيحها. أنصحك بالحذر من وضع حد أدنى أكثر صرامة عند الاستلام، خاصةً إذا قام المورد بقياس رقع مختلفة.

كيف يجب عليك قراءة تقرير TTV الخاص برقاقة الوافر؟

ضع التقرير بجانب مواصفات الشراء. ثم تحقق مما إذا كان كلاهما يصف نفس الرقاقة ونفس القياس.

هل يتطابق قطر الرقاقة وسمكها الاسمي مع المواصفات الواردة؟ يجب أن يوضح رأس التقرير ذلك بسرعة.

أين توجد قراءات الحد الأعلى والحد الأدنى؟ إذا لم تكن هناك خريطة نقاط، فاطلبها.

هل كانت الرقاقة حرة أثناء القياس أم مثبتة على دعامة؟ هذا الاختلاف يجب تسجيله.

يحتاج القوس والالتواء إلى مدخلين منفصلين. فهما ليسا من ضمن عناصر TTV.

يُساعد رقم الدفعة وتاريخ الفحص في ربط التقرير بالدفعة الصحيحة.

أحيانًا تكون القيمة الرئيسية في ورقة والخريطة في ملف آخر. احتفظ بهما معًا. قد يُشير تقريران إلى 2.9 ميكرومتر، لكنهما يُشيران إلى نقاط مختلفة على الرقاقة.

ملكنا اختبار الأبعاد والتسطيح يمكن أن يساعد ذلك في تحديد الجانب الهندسي. أخبرنا بما تم تثبيته في الجهاز وأي نمط نقاط مهم. يجب أن يوضح لك التقرير الذي تمت قراءته بعد ثلاثة أشهر العينة التي أتت منها.

ما الذي يجب عليك التأكد منه قبل تحديد حد TTV للرقاقة؟

يجب أن يتضمن حد القبول حجم الرقاقة وسمكها الاسمي. ينبغي أن يوضح التقرير مكان أخذ القياسات. ما الذي كان يدعم الرقاقة؟ يجب توثيق ذلك أيضًا. احتفظ بخطوط منفصلة للانحناء والالتواء عندما تتطلب العملية كليهما.

إذا كنت تقارن بين تقريرين يقولان كلاهما "أقل من 3 ميكرومتر" ولكنك لا تزال غير قادر على تحديد ما إذا كانت الرقائق قابلة للمقارنة، أرسل لنا إعداد القياسأدرج خطوة العملية وما يحتاجه الفريق من الحد لمنعه. يمكننا البدء بهذه التفاصيل.

التعليمات

هذه هي الأسئلة التي يجدر طرحها قبل أن يقوم أي شخص بتغيير الحد.

هل قيمة TTV تعادل قيمة تسطح الرقاقة؟

لا. TTV هو نطاق سُمك. أما التسطيح فيتعلق بشكل الرقاقة مقارنةً بمعيار مرجعي. قد توجد رقاقة ذات TTV صغير بجانب رقاقة منحنية، لذا تحقق من كليهما عندما يعتمد تركيب الأداة على ذلك.

هل لا يزال بإمكان تقنية TTV المنخفضة أن تأتي مع قوس الرقاقة؟

نعم، يمكن ذلك. يقيس مؤشر TTV سُمك الرقاقة. أما مؤشر Bow فيصف انحناء الرقاقة عندما تكون حرة. إذا كان تثبيت الرقاقة مهمًا لعمليتك، فاحتفظ بنتيجة قياس Bow بجانب قراءة TTV.

هل يتناسب حد TTV البالغ 3 ميكرومتر مع جميع أحجام الرقاقات؟

لا. رقاقة السيليكون بقطر بوصتين ورقاقة السيليكون بقطر 12 بوصة لا تُطرحان نفس المسألة الهندسية. كما أن سُمك الرقاقة وظروف الدعم تُؤخذ في الاعتبار عند اتخاذ القرار. حدد الرقم بناءً على خطوة المعالجة؛ فقد لا يُغطي حدٌّ منسوخ من إعداد آخر المشكلة التي كنتَ تقصد رصدها.

هل خشونة السطح جزء من تباين زمن انتقال الرقاقة؟

لا. الخشونة هي تشطيب السطح. أما TTV فهو سمك السطح من الأعلى إلى الأدنى. ضعهما على سطرين منفصلين؛ فقراءة النسيج لا تغني عن الخريطة.