Que vous indique le TTV de la plaquette avant un essai de procédé ?

À la réception des marchandises, une étiquette indique « TTV < 3 µm ». Un rapport est placé à côté de celui du lot du mois précédent. L'ancien rapport indique également 3 µm. Aucun des deux ne comporte de carte de points. Même tampon. Même limite. Les résultats semblent comparables jusqu'à ce que quelqu'un demande comment chaque laboratoire les a obtenus.

La variation totale d'épaisseur (TTV) d'une plaquette correspond à la différence entre les points de mesure les plus épais et les plus fins, selon une méthode donnée. Elle indique la dispersion de l'épaisseur, mais ne décrit pas la courbure, ni le gauchissement ou la rugosité de surface. À elle seule, cette valeur ne permet pas de confirmer la conformité au procédé.

Que mesure la variation de température de la plaquette (TTV) sur le disque ?

La variation totale d'épaisseur (TTV) est une plage de valeurs. Prenez la valeur d'épaisseur maximale dans la zone de mesure définie et soustrayez la valeur minimale. Le résultat correspond à la variation totale d'épaisseur pour ces points de mesure.

Prenons deux points sur une carte d'exemple. À un point, la jauge indique 725,4 µm. À l'autre, elle indique 723,0 µm. La différence entre la seconde et la première donne un TTV de 2,4 µm. J'ai choisi ces valeurs pour faciliter la compréhension du calcul. Il ne s'agit pas de mesures de production.

La cartographie est importante. Deux plaquettes peuvent présenter le même TTV alors que leurs valeurs maximales et minimales diffèrent. Un rapport peut échantillonner le centre et le bord, tandis qu'un autre peut utiliser un maillage plus dense. La valeur principale masque cette différence.

Lorsqu'on vous présente une spécification « 3 µm max », demandez quelle zone a été mesurée et comment les points ont été sélectionnés. Sans ces précisions, il est difficile de comparer ce chiffre avec celui du mois précédent.

En quoi le Wafer TTV diffère-t-il du Bow et du Warp ?

La TTV est un cas à part car elle décrit une plage d'épaisseur. La courbure et le gauchissement concernent la forme de la plaquette. La rugosité ? Il s'agit de l'état de surface.

La courbure (bow) mesure l'écart entre le centre d'une plaquette non supportée et un plan de référence. La déformation (warp) analyse une plus grande partie de la surface de la plaquette pour décrire sa forme hors plan. Ce sont deux mesures très proches, mais distinctes.

Pour notre gamme de plaquettes de siliciumLa variation de température (TTV) est maintenue en dessous de 3 µm. La courbure reste inférieure à 20 µm. La déformation (gauche) reste inférieure à 25 µm. Je ne les regrouperais pas en un seul score de « planéité ». Ce sont des mesures différentes. Aucune ne constitue une limite d'acceptation absolue pour tous les procédés.

Notre mesure de rugosité de surface peut atteindre 0,1 nm. Convertir 3 µm en 3 000 nm permet de mieux appréhender la différence d'échelle. Il s'agit néanmoins de propriétés distinctes. Une surface polie peut être lisse, mais son épaisseur varie du centre vers le bord. Pour une rayure ou une particule, veuillez nous contacter. contrôles de rugosité et de défauts de surfaceUn numéro TTV ne l'affichera pas.

Quand la variation de température du TTV des plaquettes de silicium est-elle importante dans un outil de traitement ?

La TTV est plus facile à interpréter seule. Elle devient plus intéressante lorsque la plaquette entre en contact avec un mandrin ou la marche qui la maintient contre une surface plane. Les conditions de support modifient la situation. La courbure et le gauchissement peuvent expliquer des comportements qu'une simple plage d'épaisseur ne permet pas d'expliquer.

Imaginez une plaquette placée sur un mandrin à vide. La variation totale de température (TTV) n'est qu'un aspect de ce contact. Une plaquette présentant une valeur « propre » peut côtoyer une plaquette bombée ; cela décrit des phénomènes différents. La conception de l'outil et sa plage de correction sont également importantes.

Le contrôle de la mise au point et de la hauteur justifie une distinction supplémentaire entre ces deux termes. Un indice TTV peut aider à contrôler la géométrie des plaquettes entrantes. Il ne s'agit pas d'une carte de mise au point et il ne permet pas d'indiquer à l'équipe la correction restante à une étape donnée.

Le collage et la rectification de précision soulèvent leurs propres problématiques. L'équipe peut être attentive à l'épaisseur au sein d'un empilement ou lors d'une passe de travail. Trois micromètres, ça paraît idéal sur une fiche technique. Mais est-ce la limite appropriée ? Pas tant qu'on ne sait pas quelle étape doit être protégée.

Commencez par le défaut que vous souhaitez corriger. Je me méfierais d'une limite plus stricte à la réception, car le fournisseur mesure différentes zones.

Comment lire un rapport TTV sur plaquette ?

Placez le rapport à côté du cahier des charges. Vérifiez ensuite si les deux documents décrivent la même plaquette et les mêmes dimensions.

Le diamètre et l'épaisseur nominale de la plaquette correspondent-ils aux spécifications d'entrée ? L'en-tête du rapport devrait permettre de le vérifier rapidement.

Où se situent les valeurs hautes et basses ? S'il n'y a pas de carte des points, demandez-la.

La plaquette était-elle libre pendant la mesure ou maintenue contre un support ? Cette différence doit être consignée.

Bow et warp nécessitent des entrées distinctes. Ils ne font pas partie de TTV.

Un numéro de lot et une date d'inspection permettent de rattacher le rapport au lot correspondant.

Il arrive que la valeur principale figure sur une feuille et la carte dans un autre fichier. Conservez-les ensemble. Deux rapports peuvent tous deux indiquer 2,9 µm tout en faisant référence à des points différents sur la plaquette.

Notre essais dimensionnels et de planéité Cela peut nous aider à clarifier la question de la géométrie. Indiquez-nous ce qui était fixé et quel motif de points est important. Un rapport consulté trois mois plus tard devrait encore indiquer de quel échantillon il provient.

Que devez-vous vérifier avant de définir une limite TTV pour une plaquette ?

La limite d'acceptation doit indiquer la taille de la plaquette et son épaisseur nominale. Le rapport doit préciser le lieu des mesures. Quel support était utilisé pour la plaquette ? Cette information doit également figurer dans le rapport. Si le processus requiert les deux, le cintrage et le gauchissement doivent être traités séparément.

Si vous comparez deux rapports qui indiquent tous deux « moins de 3 µm » mais que vous ne pouvez toujours pas déterminer si les plaquettes sont comparables, Envoyez-nous le dispositif de mesureVeuillez inclure l'étape du processus et préciser ce que l'équipe souhaite empêcher. Nous pouvons commencer par ces détails.

FAQ

Voici les questions qu'il convient de se poser avant que quiconque ne modifie la limite.

La TTV est-elle équivalente à la planéité de la plaquette ?

Non. L'épaisseur totale (TTV) correspond à une plage d'épaisseur. La planéité concerne la forme de la plaquette par rapport à une référence. Une faible épaisseur totale peut être présente à côté d'une plaquette incurvée ; il est donc important de vérifier les deux lorsque l'outil dépend de la précision de l'insertion.

Peut-on toujours avoir un arceau de wafer avec un faible TTV ?

Oui, c'est possible. La TTV mesure l'épaisseur. La courbure décrit la courbure de la plaquette lorsqu'elle est libre. Si le positionnement est important pour votre procédé, conservez la valeur de courbure à côté de la valeur de TTV.

Une limite TTV de 3 micromètres convient-elle à toutes les tailles de plaquettes ?

Non. Une plaquette de 2 pouces et une plaquette de 12 pouces ne posent pas le même problème de géométrie. L'épaisseur et les conditions de support entrent également en ligne de compte. Définissez la valeur en fonction de l'étape de processus ; une limite copiée d'une autre configuration peut ne pas détecter le problème que vous souhaitiez identifier.

La rugosité de surface fait-elle partie du TTV des plaquettes ?

Non. La rugosité correspond à l'état de la surface. La TTV représente l'épaisseur, de la plus grande à la plus petite dimension. Il faut les indiquer sur des lignes séparées ; une mesure de texture ne peut pas remplacer la carte.