Что показывает показатель TTV пластины перед проведением технологического испытания?

При приемке товара на этикетке написано «TTV < 3 мкм». Кто-то кладет отчет рядом с отчетом за прошлый месяц. В старом отчете тоже указано 3 мкм. Ни на одном из них нет карты распределения. Одинаковая маркировка. Одинаковый предел. Цифры кажутся сопоставимыми, пока кто-то не спрашивает, как каждая лаборатория их измеряла.

Общее отклонение толщины пластины (TTV) — это разница между самой толстой и самой тонкой точками, измеренными с использованием указанного метода. Оно показывает разброс толщины. Оно не описывает изгиб. Оно также не говорит о деформации или шероховатости поверхности. Само по себе это число не может подтвердить соответствие технологическому процессу.

Что измеряет показатель TTV на пластине по всей поверхности диска?

TTV — это диапазон. Возьмите наибольшее значение толщины в заданной области измерения и вычтите наименьшее. В результате вы получите общее изменение толщины для этих измеренных точек.

Возьмем две точки на карте-образце. В одной точке показание прибора составляет 725,4 мкм, в другой — 723,0 мкм. Вычтем второе значение из первого, и получим TTV карты 2,4 мкм. Я выбрал эти значения, чтобы сделать расчеты наглядными. Это не производственные показания.

Карта имеет значение. Две пластины могут иметь одинаковое значение TTV, в то время как высокие и низкие точки находятся в разных местах. В одном отчете могут быть взяты образцы из центра и края. В другом может использоваться более плотный рисунок. Значение в заголовке скрывает эту разницу.

Когда вам дают в руки спецификацию с указанием «максимум 3 мкм», спросите, какая область была измерена и как были выбраны точки измерения. Без этой информации сложно сравнивать полученные данные с отчетом за прошлый месяц.

Чем отличается технология Wafer TTV от технологий Bow и Warp?

Показатель TTV выделяется среди прочих, поскольку описывает диапазон толщины. Изгиб и деформация касаются формы пластины. Шероховатость? Это качество обработки поверхности.

Показатель «изгиб» измеряет расстояние от центра незакрепленной пластины до опорной плоскости. Показатель «деформация» рассматривает большую часть поверхности пластины, описывая ее форму вне плоскости. Это близкие, но все же разные показатели.

Для нас диапазон кремниевых пластинTTV контролируется на уровне ниже 3 мкм. Изгиб остается ниже 20 мкм. Деформация остается ниже 25 мкм. Я бы не стал объединять эти показатели в один критерий «плоскости». Они относятся к разным измерениям. Ни один из них не становится универсальным допустимым пределом для всех процессов.

Наш показатель шероховатости поверхности может достигать 0,1 нм. Если перевести 3 мкм в 3000 нм, разница в масштабе будет казаться менее абстрактной. Тем не менее, это разные свойства. Полированная поверхность может быть гладкой, в то время как толщина меняется от центра к краю. Если обнаружена царапина или частица, обратитесь за дополнительной информацией. Проверка шероховатости поверхности и выявление дефектовНомер TTV этого не покажет.

В каких случаях значение TTV кремниевой пластины имеет в технологическом оборудовании?

TTV проще всего читать сам по себе. Ситуация становится интереснее, когда пластина соприкасается с зажимным устройством или ступенькой, которая удерживает её на плоской поверхности. Условия опоры меняют вопрос. Прогиб и деформация могут объяснить поведение, которое невозможно объяснить диапазоном толщины.

Представьте себе пластину, натянутую на вакуумный зажим. TTV — это лишь одна из составляющих этого контакта. Четкое число может располагаться рядом с деформированной пластиной; они описывают разные вещи. Конструкция инструмента и диапазон коррекции также имеют значение.

Фокусировка и контроль высоты — еще одна причина разделять эти понятия. Показатель TTV может помочь в проверке геометрии поступающих пластин. Это не карта фокусировки и не может показать команде, сколько коррекции еще осталось на конкретном этапе.

Склеивание и прецизионная шлифовка имеют свои особенности. Команду может волновать толщина по всей стопке пакетов или по всей длине рабочего прохода. Три микрометра звучат неплохо в технической спецификации. Но является ли это правильным пределом? Нет, пока не будет определено, какой именно этап необходимо защитить.

Начните с того промаха, который вы хотите исправить. Я бы насторожился, если бы при приемке товара устанавливались более жесткие ограничения, и поставщик измерял бы разные участки.

Как следует читать отчет о измерении TTV в кремниевой пластине?

Поместите отчет рядом со спецификацией закупки. Затем проверьте, описывают ли оба документа одну и ту же пластину и имеют ли они одинаковые размеры.

Соответствуют ли диаметр пластины и номинальная толщина входящим спецификациям? Заголовок отчета должен быстро это определить.

Где указаны максимальные и минимальные значения показаний? Если карты точек нет, запросите её.

Измерения проводились в свободном положении, без опоры, или пластина прижималась к подложке? Это различие должно быть зафиксировано в протоколе.

Лук и варп заслуживают отдельных описаний. Они не относятся к TTV.

Номер партии и дата проверки позволяют прикрепить отчет к нужной партии.

Иногда значение заголовка находится на одном листе, а карта — в другом файле. Храните их вместе. В двух отчетах может быть указано значение 2,9 мкм, но при этом они будут относиться к разным точкам на пластине.

Наш Проверка размеров и плоскостности Это может помочь разобраться с геометрией. Расскажите нам, что находилось в приспособлении и какой рисунок точек имеет значение. В отчете, прочитанном через три месяца, все еще должно быть указано, из какого образца он был взят.

Что следует подтвердить перед установкой ограничения TTV для пластины?

В отчете необходимо указать размер пластины и ее номинальную толщину, а также место проведения измерений. Что служило опорой для пластины? Это тоже должно быть зафиксировано в документации. Если в процессе производства требуется коррозия и деформация, следует выделять их в отдельные строки.

Если вы сравниваете два отчета, в обоих из которых указано «менее 3 мкм», но вы все равно не можете определить, сопоставимы ли эти пластины, Пришлите нам схему измерения.Укажите этап процесса и то, что именно команда должна предотвратить с помощью этого ограничения. Мы можем начать с этих деталей.

Часто задаваемые вопросы

Прежде чем кто-либо изменит лимит, стоит задать себе следующие вопросы.

Эквивалентно ли значение TTV значению плоскостности пластины?

Нет. TTV — это диапазон толщины. Плоскостность относится к форме пластины относительно эталона. Небольшой TTV может совпадать с изогнутой пластиной, поэтому проверяйте оба параметра, если точность установки зависит от правильного прилегания пластины.

Может ли устройство Low TTV по-прежнему поставляться с изогнутой верхней трубой?

Да, это возможно. Показатель TTV отслеживает толщину. Показатель изгиба описывает кривизну пластины в свободном состоянии. Если для вашего процесса важна посадка, сопоставьте значение изгиба с показателем TTV.

Подходит ли ограничение TTV в 3 микрометра для всех размеров кремниевых пластин?

Нет. 2-дюймовая и 12-дюймовая пластины представляют собой разные геометрические задачи. Толщина и условия поддержки также влияют на решение. Установите значение относительно этапа процесса; предел, скопированный из другой установки, может не выявить проблему, которую вы хотели обнаружить.

Является ли шероховатость поверхности частью TTV пластины?

Нет. Шероховатость — это качество обработки поверхности. TTV — это толщина от самых высоких значений к самым низким. Разместите их на отдельных строках; чтение текстуры не может заменить карту.