웨이퍼 TTV는 공정 시험 전에 무엇을 알려줍니까?

입고 시, "TTV < 3μm"라는 라벨이 붙어 있습니다. 누군가 지난달 보고서 옆에 이 보고서를 놓습니다. 지난달 보고서에도 3μm라고 적혀 있습니다. 두 보고서 모두 포인트 맵은 없습니다. 같은 도장이 찍혀 있고, 기준치도 같습니다. 수치는 비슷해 보이지만, 누군가 각 실험실에서 어떻게 측정했는지 묻습니다.

웨이퍼 총 두께 편차(TTV)는 명시된 측정 방법에 따라 측정된 가장 두꺼운 지점과 가장 얇은 지점의 차이입니다. 이는 두께 분포를 나타내지만, 웨이퍼의 휨이나 뒤틀림, 표면 거칠기는 나타내지 않습니다. 따라서 이 수치만으로는 공정 적합성을 확인할 수 없습니다.

웨이퍼 TTV는 디스크 전체에 걸쳐 무엇을 측정하는 것입니까?

TTV는 범위입니다. 정의된 측정 영역에서 가장 높은 두께 값을 찾고 가장 낮은 두께 값을 뺍니다. 그 결과가 해당 측정 지점의 총 두께 변화량입니다.

샘플 지도에서 두 지점을 선택했습니다. 한 지점에서 측정값이 725.4μm이고, 다른 지점에서 측정값이 723.0μm입니다. 첫 번째 값에서 두 번째 값을 빼면 해당 지도의 TTV는 2.4μm입니다. 계산 과정을 보여주기 위해 이 수치를 선택했습니다. 실제 생산 시 측정값은 아닙니다.

지도가 중요합니다. 두 웨이퍼의 TTV가 같더라도 최고점과 최저점이 서로 다른 위치에 있을 수 있습니다. 어떤 보고서는 중심부와 가장자리를 샘플링할 수 있고, 다른 보고서는 더 촘촘한 패턴을 사용할 수 있습니다. 최종 수치는 이러한 차이를 숨깁니다.

누군가 "최대 3μm"라는 사양서를 건네주면, 어떤 영역을 측정했는지, 그리고 측정 지점을 어떻게 선정했는지 물어보세요. 그런 맥락 없이는 그 수치를 지난달 보고서와 비교하기 어렵습니다.

웨이퍼 TTV는 보우 및 워프 방식과 어떻게 다른가요?

TTV는 두께 범위를 나타내기 때문에 다른 용어들과는 다릅니다. 휨과 뒤틀림은 웨이퍼의 모양과 관련이 있습니다. 거칠기는 표면 마감을 나타냅니다.

보우(Bow)는 지지대가 없는 웨이퍼의 중심이 기준면에서 얼마나 떨어져 있는지를 측정합니다. 워프(Warp)는 웨이퍼 표면 전체를 살펴 평면에서 벗어난 모양을 설명합니다. 둘은 매우 유사하지만 서로 다른 측정값입니다.

저희를 위해 실리콘 웨이퍼 범위TTV는 3μm 이하로 관리됩니다. 보우는 20μm 이하, 워프는 25μm 이하로 유지됩니다. 이러한 기준들을 하나의 "평탄도" 점수로 묶어서 평가해서는 안 됩니다. 각각 다른 측정값을 나타내기 때문입니다. 어느 하나도 모든 공정에 일괄적으로 적용되는 허용 기준이 될 수 없습니다.

표면 거칠기 수치는 0.1nm까지 도달할 수 있습니다. 3μm를 3,000nm로 환산하면 스케일 차이가 덜 추상적으로 느껴집니다. 하지만 이 두 가지는 별개의 속성입니다. 연마된 표면은 매끄럽지만 두께는 중심부에서 가장자리로 갈수록 변할 수 있습니다. 긁힘이나 입자의 경우에는 다른 속성을 확인해야 합니다. 표면 거칠기 및 결함 검사TTV 번호로는 표시되지 않습니다.

공정 장비에서 실리콘 웨이퍼의 TTV(두께/내구성)는 언제 중요한가요?

TTV는 그 자체로 읽기 가장 쉽습니다. 웨이퍼가 척이나 웨이퍼를 평평한 표면에 고정하는 단차에 닿을 때 상황이 더 복잡해집니다. 지지 조건이 바뀌면서 문제가 달라집니다. 휘어짐과 뒤틀림은 두께 범위로는 설명할 수 없는 현상을 설명할 수 있습니다.

진공척에 당겨진 웨이퍼를 상상해 보세요. TTV는 그 과정에서 중요한 요소 중 하나일 뿐입니다. 깨끗한 수치가 나온 웨이퍼 옆에 휘어진 웨이퍼가 있을 수 있지만, 이 둘은 서로 다른 것을 나타냅니다. 장비의 설계와 보정 범위 또한 중요합니다.

초점 및 높이 제어는 이 두 용어를 구분해야 하는 또 다른 이유입니다. TTV 값은 들어오는 웨이퍼의 형상을 선별하는 데 도움이 될 수 있습니다. 하지만 이는 초점 맵이 아니므로 특정 단계에서 얼마나 많은 수정이 필요한지 팀에게 알려줄 수는 없습니다.

접합 및 정밀 연삭에는 그 나름의 고려 사항이 있습니다. 팀은 적층 두께 또는 가공 경로 전체의 두께에 관심을 가질 수 있습니다. 사양서에 3마이크로미터라는 수치가 멋지게 보일 수 있지만, 과연 그것이 올바른 한계치일까요? 어떤 단계를 보호해야 하는지 알기 전까지는 알 수 없습니다.

잡고 싶은 부분부터 시작하세요. 공급처에서 패치를 다르게 측정하는 경우, 수령 시 제한 사항이 더 엄격할 수 있으니 주의하세요.

웨이퍼 TTV 보고서를 어떻게 읽어야 할까요?

보고서를 구매 명세서 옆에 놓으십시오. 그런 다음 두 문서에 동일한 웨이퍼와 동일한 측정값이 기술되어 있는지 확인하십시오.

웨이퍼 직경과 공칭 두께가 입고 사양과 일치하는지 확인하십시오. 보고서 헤더에서 이 부분을 빠르게 확인할 수 있을 것입니다.

최고값과 최저값은 어디에 있나요? 지점 지도가 없으면 요청하세요.

측정 당시 웨이퍼가 자유로운 상태였습니까, 아니면 지지대에 고정되어 있었습니까? 그 차이점은 기록에 남아야 합니다.

활과 워프는 별도의 항목으로 설명해야 합니다. TTV가 아닙니다.

제조 번호와 검사 날짜를 통해 보고서가 해당 배치에 제대로 연결되도록 합니다.

때로는 주요 값이 한 시트에 있고 맵이 다른 파일에 있는 경우가 있습니다. 둘을 함께 보관하세요. 두 보고서 모두 2.9μm라고 표시되어 있더라도 웨이퍼 상의 서로 다른 지점을 가리킬 수 있습니다.

우리의 치수 및 평탄도 테스트 기하학적 측면을 확정하는 데 도움이 될 수 있습니다. 고정 장치에 무엇이 고정되었는지, 어떤 점 패턴이 중요한지 알려주세요. 3개월 후에 읽은 보고서에서도 어떤 샘플에서 나온 것인지 알 수 있어야 합니다.

웨이퍼 TTV 제한을 설정하기 전에 무엇을 확인해야 할까요?

허용 한계치 옆에는 웨이퍼 크기와 공칭 두께를 명시해야 합니다. 보고서에는 측정 위치와 웨이퍼를 지지했던 요소도 기록해야 합니다. 공정상 휘어짐과 뒤틀림이 모두 필요한 경우, 각각 별도의 줄에 기록하십시오.

두 보고서 모두 "3μm 미만"이라고 명시되어 있지만 웨이퍼가 동일한지 여부를 판단할 수 없는 경우, 측정 설정 정보를 보내주세요.프로세스 단계와 팀이 제한을 설정하여 방지해야 할 사항을 포함해 주세요. 이러한 세부 정보부터 시작할 수 있습니다.

자주 묻는 질문

제한을 변경하기 전에 반드시 물어봐야 할 질문들입니다.

TTV는 웨이퍼 평탄도와 동일한 개념인가요?

아니요. TTV는 두께 범위를 나타냅니다. 평탄도는 기준에 대한 웨이퍼의 형상과 관련이 있습니다. TTV가 작더라도 곡면 웨이퍼가 존재할 수 있으므로, 장비가 웨이퍼의 밀착도에 의존하는 경우에는 두 가지 모두를 확인해야 합니다.

낮은 TTV 값에도 웨이퍼 보우가 나타날 수 있나요?

네, 가능합니다. TTV는 두께를 측정하고, 보우는 웨이퍼가 자유로운 상태일 때의 곡률을 나타냅니다. 공정에서 웨이퍼의 밀착도가 중요하다면, TTV 측정값과 함께 보우 측정값도 기록해 두세요.

3마이크로미터 TTV 제한이 모든 웨이퍼 크기에 적합할까요?

아니요. 2인치 웨이퍼와 12인치 웨이퍼는 동일한 형상 문제를 제기하지 않습니다. 두께와 서포트 상태도 결정에 영향을 미칩니다. 공정 단계에 맞춰 값을 설정해야 합니다. 다른 설정에서 복사한 제한값을 사용하면 의도했던 문제를 놓칠 수 있습니다.

표면 거칠기는 웨이퍼 TTV의 일부인가요?

아니요. 거칠기는 표면 마감을 나타냅니다. TTV는 높은 곳에서 낮은 곳으로의 두께를 나타냅니다. 두 값을 별도의 줄에 입력하세요. 텍스처 판독값은 맵을 대체할 수 없습니다.