半导体工艺耗材

石英坩埚是由高纯度石英砂经高温电弧熔炼工艺制成的半透明或透明容器，是半导体单晶硅生长工艺中的关键耗材。石英坩埚具有极高的纯度、优异的高温强度和良好的热稳定性。它们主要用于直拉式单晶生长炉中，盛放多晶硅原料，在超过1400摄氏度的高温下将硅原料熔化成硅熔体，为拉制单晶硅棒提供洁净的熔体环境。石英坩埚主要分为两大类：合成石英坩埚和天然石英坩埚。合成石英坩埚纯度更高、羟基含量更低，更适用于拉制大尺寸单晶硅棒。我公司生产的石英坩埚采用进口高纯度石英砂为原料，运用先进的电弧熔炼设备和洁净的生产工艺制造而成。产品纯度可达 99.99% 以上，尺寸范围可满足 8 英寸至 32 英寸单晶炉的需求。

高纯石墨部件是半导体制造工艺的核心组件，以高纯石墨为基材，经精密加工而成。高纯石墨是指碳含量≥99.99%的石墨材料，具有高强度、高密度、耐高温、抗氧化、优异的导电导热性能、良好的抗热震性、自润滑性、耐腐蚀性以及易于精密加工等优点。在半导体行业，高纯石墨部件主要应用于单晶生长炉热系统、外延设备、离子注入机和刻蚀设备等关键工艺环节。具体产品形式包括石墨坩埚、石墨加热器、石墨电极、石墨舟、石墨基座、石墨屏蔽罩、石墨喷嘴和石墨衬套等。