半導體製程耗材

石英坩堝是由高純度石英砂經高溫電弧熔煉製程製成的半透明或透明容器，是半導體單晶矽生長製程的關鍵耗材。石英坩堝具有極高的純度、優異的高溫強度和良好的熱穩定性。它們主要用於直拉式單晶生長爐中，盛放多晶矽原料，在超過1400攝氏度的高溫下將矽原料熔化成矽熔體，為拉製單晶矽棒提供潔淨的熔體環境。石英坩堝主要分為兩大類：合成石英坩堝和天然石英坩堝。合成石英坩堝純度更高、羥基含量更低，更適合拉製大尺寸單晶矽棒。本公司生產的石英坩堝採用進口高純度石英砂為原料，運用先進的電弧熔煉設備和潔淨的生產流程製造而成。產品純度可達 99.99% 以上，尺寸範圍可滿足 8 吋至 32 吋單晶爐的需求。

高純度石墨部件是半導體製造過程的核心組件，以高純度石墨為基材，經精密加工而成。高純度石墨是指碳含量≥99.99%的石墨材料，具有高強度、高密度、耐高溫、抗氧化、優異的導電導熱性能、良好的抗熱震性、自潤滑性、耐腐蝕性以及易於精密加工等優點。在半導體產業，高純度石墨零件主要應用於單晶生長爐熱系統、外延設備、離子注入機和蝕刻設備等關鍵製程環節。特定產品形式包括石墨坩堝、石墨加熱器、石墨電極、石墨舟、石墨基座、石墨屏蔽罩、石墨噴嘴和石墨襯套等。