Кварцевые тигли — это полупрозрачные или прозрачные емкости, изготовленные из высокочистого кварцевого песка методом высокотемпературной электродуговой плавки. Они являются ключевым расходным материалом в процессе выращивания монокристаллического кремния для полупроводниковых целей. Кварцевые тигли обладают чрезвычайно высокой чистотой, превосходной прочностью при высоких температурах и хорошей термической стабильностью. В основном они используются в печах Чохральского для выращивания монокристаллов в качестве сырья для поликристаллического кремния, плавя кремниевый материал при температурах выше 1400 градусов Цельсия, обеспечивая чистую среду для вытягивания монокристаллических кремниевых стержней. Кварцевые тигли делятся на две основные категории: синтетические кварцевые тигли и тигли из природного кварца. Синтетические кварцевые тигли обладают более высокой чистотой и более низким содержанием гидроксильных групп, что делает их пригодными для процесса вытягивания крупногабаритных монокристаллических кремниевых стержней. Кварцевые тигли нашей компании изготавливаются из импортного высокочистого кварцевого песка в качестве сырья с использованием современного электродугового плавильного оборудования и экологически чистых производственных процессов. Чистота продукта может достигать более 99,99%, а диапазон размеров охватывает потребности монокристаллических печей размером от 8 до 32 дюймов.

Детали из высокочистого графита являются ключевыми компонентами в процессах производства полупроводников, изготавливаясь из высокочистого графита в качестве основного материала путем прецизионной обработки. Высокочистый графит — это графитовый материал с содержанием углерода ≥99,99%, обладающий такими преимуществами, как высокая прочность, высокая плотность, высокая термостойкость, стойкость к окислению, отличная электро- и теплопроводность, хорошая термостойкость, самосмазывание, коррозионная стойкость и легкость прецизионной обработки. В полупроводниковой промышленности детали из высокочистого графита в основном используются на ключевых этапах процесса, таких как тепловые системы печей для выращивания монокристаллов, эпитаксиальное оборудование, ионные имплантаторы и травильное оборудование. Конкретные формы изделий включают графитовые тигли, графитовые нагреватели, графитовые электроды, графитовые лодочки, графитовые сусцепторы, графитовые экраны, графитовые сопла и графитовые футеровки.

Кремниевые пластины — это тонкие круглые пластины, изготовленные из высокочистых монокристаллических кремниевых стержней с помощью высокоточной обработки, включающей резку, шлифовку, травление и полировку. Они являются основным подложечным материалом для производства полупроводниковых микросхем. В качестве носителя интегральных схем на поверхности кремниевых пластин формируются миллиарды транзисторов и межсоединений с помощью таких процессов, как фотолитография, травление, осаждение и ионная имплантация. Наконец, их разрезают и упаковывают в микросхемы. Чистота, плоскостность, чистота поверхности и качество кристаллов кремниевых пластин напрямую определяют выход годной продукции и производительность устройств в производстве микросхем. Кремниевые пластины нашей компании изготавливаются из высокочистых монокристаллических кремниевых стержней, полученных с помощью передовой фарадной технологии MCZ, посредством таких процессов, как многопроволочная резка, двусторонняя шлифовка, химическое травление и прецизионная полировка. Чистота продукции может достигать более 99,9999999%, плоскостность (TTV) контролируется на уровне менее трех микрометров, а шероховатость поверхности может составлять всего 0,1 нанометра. Диаметр изделий варьируется от двух до двенадцати дюймов, предлагаются различные типы, включая полированные пластины, отожженные пластины и эпитаксиальные пластины. По запросу заказчика также могут быть предоставлены кремниевые пластины, изготовленные на заказ, с различными типами проводимости, диапазонами удельного сопротивления и кристаллической ориентацией.

Кремниевые кольца — это кольцеобразные кремниевые компоненты, изготовленные из высокочистого монокристаллического или поликристаллического кремния методом прецизионной обработки. Они являются ключевыми расходными компонентами в оборудовании для травления полупроводников и плазменной обработки. Кремниевые кольца обычно устанавливаются в реакционных камерах оборудования для обработки полупроводников, такого как установки плазменного травления, установки физического осаждения из паровой фазы (PVD) и установки химического осаждения из паровой фазы (CVD), и служат для фокусировки плазмы, защиты внутренних стенок камеры, выравнивания распределения электрического поля и контроля равномерности процесса. Кремниевые кольца используют высокую чистоту, устойчивость к плазменной коррозии и превосходную тепловую и электрическую проводимость монокристаллического кремния для поддержания стабильных физико-химических свойств в агрессивных плазменных средах. В производстве кремниевых колец нашей компании используется высокочистый монокристаллический или поликристаллический кремний, полученный с помощью передовой фарадной технологии MCZ. Они изготавливаются с помощью множества высокоточных процессов механической обработки, включая резку, шлифовку, сверление и полировку, обеспечивая чистоту более 99,99999999%, точность размеров в пределах ±0,1 мм и шероховатость поверхности менее 0,1 микрометра. Технические характеристики продукции охватывают различные размеры фокусирующих колец, защитных колец и краевых колец для травильного оборудования с диаметром пор от 2 до 12 дюймов, а также доступны варианты изготовления по индивидуальному заказу.

Кремниевые стержни — это высокочистые цилиндрические кристаллы кремния, выращенные с использованием метода Чохральского (CZ) или зонной плавки, и являются основным материалом в производстве полупроводниковых пластин. Кремниевые стержни изготавливаются из поликристаллического кремния электронного качества, который плавится при высоких температурах, а затем направляется затравками в контролируемых условиях роста для образования монокристаллических кремниевых стержней с полной кристаллической структурой или поликристаллических кремниевых стержней, состоящих из множества зерен. Монокристаллические кремниевые стержни имеют однородную кристаллическую ориентацию и бездефектную решетчатую структуру, что делает их пригодными для производства подложек для высококачественных полупроводниковых микросхем, таких как интегральные схемы и силовые устройства. Поликристаллические кремниевые стержни, благодаря своей ценовой выгоде, в основном используются в фотоэлектрических элементах и ​​некоторых недорогих полупроводниковых устройствах. Кремниевые стержни нашей компании выращиваются с использованием передовой технологии MCZ (магнитного Чохральского), с однородностью удельного сопротивления, контролируемой в пределах 5%, и чистотой, превышающей 99,9999999%. Диаметр изделий варьируется от двух до двенадцати дюймов, и мы можем изготовить кремниевые стержни на заказ с различными типами проводимости (N-тип/P-тип), диапазонами удельного сопротивления и ориентацией кристаллов в соответствии с потребностями заказчика.